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中國電科48所8英寸碳化硅外延設備獲升級

發表于:2024-09-09 來源:半導體產業網 編輯:

9月5日,中國電科在官微透露,中國電科48所自主研發的8英寸碳化硅外延設備關鍵技術再次獲得突破。

據悉,此次“全新升級”的8英寸碳化硅外延設備,具備更快、更好、更穩定的特點,通過改進激光視覺定位、晶圓自糾偏等技術,設備自動化性能更加成熟,提升產品生產效率。設備還成功引入新的摻雜技術,進一步提升產品良率,持續降低生產成本。

湖南省科技事務中心還透露,中國電科48所研發的8英寸設備在6英寸設備的基礎上進行創新,其外延層的厚度以及摻雜濃度的均勻性,都得到極大的提升:8英寸生長厚度均勻性小于1.5%,摻雜濃度均勻性小于4%,表面致命缺陷小于0.4個/cm2 

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