“2023年，我們企業(yè)銷售額同比增長(zhǎng)2.2倍，納稅額同比增長(zhǎng)1.8倍，銷售額和納稅額均連續(xù)三年成倍增長(zhǎng)。”北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（北京亦莊）企業(yè)北京科翰龍半導(dǎo)體裝備科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“科翰龍”）副總經(jīng)理王向陽(yáng)透露，在奮力沖刺一季度“開門紅”的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，企業(yè)產(chǎn)線正開足馬力，滿負(fù)荷運(yùn)行，確保首季度重點(diǎn)訂單按時(shí)交付。

走進(jìn)科翰龍測(cè)試產(chǎn)線，工程師們正緊張認(rèn)真地進(jìn)行著晶圓磨邊倒角設(shè)備與天車及AGV小車（自動(dòng)引導(dǎo)車）對(duì)接、設(shè)備自動(dòng)連續(xù)運(yùn)行馬拉松、產(chǎn)品加工效果等各項(xiàng)測(cè)試，確保每臺(tái)設(shè)備高品質(zhì)按時(shí)交付。

“這是一款全自動(dòng)晶圓磨邊倒角設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)12寸晶圓的全自動(dòng)加工，全程無(wú)需人工干預(yù)，且設(shè)備穩(wěn)定性佳，加工的產(chǎn)品精度高。”科翰龍產(chǎn)品經(jīng)理董德祥指著一臺(tái)大尺寸晶圓磨邊倒角設(shè)備介紹道。只見其輕點(diǎn)一下啟動(dòng)按鈕，晶圓磨邊倒角設(shè)備便自動(dòng)工作起來(lái)。上料、定位、搬運(yùn)、研磨、清洗、甩干……短短一分鐘，一系列“自操作”完成，兩塊打磨好的晶圓就同步“出倉(cāng)”，原本粗糙的晶圓邊緣和表面變得光滑起來(lái)。

晶圓倒角磨邊設(shè)備是晶圓鍵合片、功率器件等生產(chǎn)過(guò)程中不可或缺的工藝設(shè)備，市場(chǎng)對(duì)該工藝設(shè)備有著旺盛的需求，科翰龍歷經(jīng)兩年時(shí)間，突破了層階倒角技術(shù)，于2022年底研制出我國(guó)首臺(tái)具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、軟件源代碼、原始設(shè)計(jì)圖紙的全自動(dòng)晶圓層階倒角設(shè)備，填補(bǔ)了我國(guó)在晶圓層階倒角工藝設(shè)備上的空白。

“從去年年底到今年一季度，我們陸續(xù)通過(guò)多家行業(yè)龍頭公司驗(yàn)收并進(jìn)一步訂貨。”王向陽(yáng)介紹，目前，企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的大尺寸晶圓磨邊倒角設(shè)備、大尺寸晶圓打碼設(shè)備在西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司、上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司、海思半導(dǎo)體有限公司、北京燕東微電子股份有限公司、華為技術(shù)有限公司通過(guò)正式驗(yàn)收，并連續(xù)收獲批量新訂單。為保障訂單如期交付，科翰龍的軟件、機(jī)械、電氣工程師組成了項(xiàng)目攻關(guān)小組，各小組搶時(shí)間、比進(jìn)度，堅(jiān)決打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn)，全面推進(jìn)產(chǎn)品高品質(zhì)交付。

“扎根北京亦莊這片創(chuàng)新沃土，受益其優(yōu)質(zhì)營(yíng)商環(huán)境，科翰龍取得了快速、高質(zhì)量成長(zhǎng)。”王向陽(yáng)表示，隨著產(chǎn)品成熟和市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng)帶來(lái)的銷量持續(xù)增長(zhǎng)，2024年，科翰龍計(jì)劃進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)廠房及凈化室的面積，增強(qiáng)企業(yè)研發(fā)能力和產(chǎn)品生產(chǎn)交貨速度，積極擴(kuò)大企業(yè)產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)企業(yè)更大規(guī)模發(fā)展。

來(lái)源：北京亦莊官方發(fā)布