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IFWS 2023│ 中國電子科技集團第四十六研究所孫杰:高導熱GaN/金剛石結構制備及器件性能

發表于:2023-12-06 來源:半導體產業網 編輯:

近日,第九屆國際第三代半導體論壇(IFWS)&第二十屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA)在廈門國際會議中心召開。期間“超寬禁帶半導體技術技術“分會上,中國電子科技集團第四十六研究所工程師孫杰帶來了“高導熱GaN/金剛石結構制備及器件性能”的主題報告,分享了GaN/金剛石研究進展以及46所研究現狀。

孫杰

金剛石材料因具有超寬禁帶、高載流子遷移率、高飽和漂移速度、高熱導率等優異特性,被認為是終極半導體材料,已成為國內外研究熱點。 有望為微波功率和高頻電子器件性能提升提供新的空間,發展金剛石半導體材料關系到高頻、高功率系統的更新換代。金剛石多晶散熱片已經在民用領域得到了廣泛的應用,市場處于上升期。?

隨著功率器件逐漸邁進高頻、高功率,GaN器件熱積累越來越明顯。GaN作為第三代寬禁帶半導體的典型代表,具有高的電子飽和速度,高擊穿場強,非常適用于高頻、高功率微波功率器件,在眾多領域獲得了廣泛的應用,如5G通訊、雷達等高頻高功率領域。由于結處熱效應,GaN器件目前只能發揮20%~30%的理論性能,其優異的性能遠未得到發揮,傳統的Si、SiC等襯底無法滿足GaN器件散熱需求。 功率密度的提升可以顯著提升雷達的探測距離,提升通訊衛星的傳輸速率。

46所研究方面,目前已經能夠獲得13mm×13mm的GaN/金剛石復合結構樣品,并具備2英寸GaN/金剛石樣品研制能力(注:目前獲得的GaN/金剛石結構均保留10-20μm碳化硅襯底,后期要去除全部碳化硅)

報告指出,GaN/金剛石技術的應用,對射頻和功率器件的發展意義重大。金剛石&氮化鎵的結合,被認為是支撐未來高功率射頻和微波通信、 宇航和軍事系統以及5G和6G移動通信網絡和更復雜的雷達系統的核心技術。貝哲斯咨詢對金剛石襯底上GaN的行業市場統計結果顯示: 2022年,全球金剛石襯底上的GaN市場容量為124.76億元;預計,全球金剛石襯底上的GaN市場規模將以2.04%的CAGR增長,2028年達140.94億元。

(備注:以上信息僅根據現場整理未經嘉賓本人確認,僅供參考!)

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