據招標平臺信息顯示，近日，上海積塔半導體多項設備中標結果公布。北方華創、拓荊科技、芯源微、阿斯麥（ASML）等成功中標上海積塔特色工藝生產線項目33臺設備，其中北方華創、拓荊科技、芯源微，三家合計中標量占比約67%，國產設備比重較大。
 

全球半導體觀察根據招標平臺信息整理制圖

 

據悉，北方華創中標10臺設備，包括合金化工藝低壓立式爐管、緩沖層氧化膜爐管、鋁刻蝕機、鋁金屬物理氣相沉積機、鋁銅金屬濺射設備等；拓荊科技中標3臺二氧化硅等離子薄膜沉積設備、8臺二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設備；芯源微中標1臺聚合物涂膠顯影機；阿斯麥中標2臺i-line光刻機、1臺KrF光刻機。

 

官方信息顯示，上海積塔半導體此次是為特色工藝生產線項目招標。該項目2017年簽約落戶上海臨港，2018年8月開工建設，2019年12月首臺光刻設備搬入，2020年3月正式投片，2020年6月投產儀式舉行。據悉，該項目總投資359億元，目標是建設月產能6萬片的8英寸生產線和5萬片12英寸特色工藝生產線。據新華社報道，今年5月，上海積塔半導體已經明確將在上海臨港投資二期項目，新增固定資產投資預計超過260億元。

 

根據此前中國國際招標網的信息顯示，上海積塔半導體的一期產線當中，64%的清洗設備都是由北方華創供應的，此外還部分采用了北方華創與成都萊普科技的熱處理設備，上海微電子裝備和中科飛測的測量設備。

 

而統計今年至今招標平臺信息可知，上海積塔半導體今年招標工藝設備超150臺，值得注意的是，今年其設備國產化率有明顯提高趨勢。在中標廠商中，北方華創、中微公司、屹唐、芯源微電子、上海精測、盛美上海等占比較大。分設備看，干法去膠設備、刻蝕設備、清洗設備、離子注入機、拋光設備、涂膠顯影設備是國產化集中領域。