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廣州南砂晶圓申請(qǐng)用于PVT法生長(zhǎng)碳化硅單晶的裝料裝置及應(yīng)用專利,有效提高所制得碳化硅晶體的質(zhì)量

發(fā)表于:2025-04-17 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

 國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種用于PVT法生長(zhǎng)碳化硅單晶的裝料裝置及其應(yīng)用”的專利,公開(kāi)號(hào)CN 119824526 A,申請(qǐng)日期為2024年12月。

專利摘要顯示,本申請(qǐng)公開(kāi)了一種用于PVT法生長(zhǎng)碳化硅單晶的裝料裝置及其應(yīng)用,屬于碳化硅單晶生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N在PVT法生長(zhǎng)碳化硅單晶時(shí)放置于坩堝體內(nèi)的裝料裝置,用于盛裝碳化硅粉料,該裝料裝置包括筒體和可拆卸設(shè)置在筒體上的頂蓋,筒體包括側(cè)壁和筒體底部,筒體的側(cè)壁由可以供所述碳化硅粉料分解的氣相組分通過(guò)、但阻擋碳顆粒的多孔材料制成,頂蓋由阻擋所述碳化硅粉料分解的氣相組分通過(guò)的致密材料組成。本申請(qǐng)還提供利用上述裝置生長(zhǎng)單晶的方法,通過(guò)使用裝料裝置進(jìn)行碳化硅單晶生長(zhǎng),可以改變物料氣氛的傳輸路徑,避免了重結(jié)晶區(qū)域阻擋氣氛傳輸,解決了晶體生長(zhǎng)速率突變的問(wèn)題,減少了碳包裹體的生成,有效提高了所制得碳化硅晶體的質(zhì)量。

天眼查資料顯示,廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司,成立于2018年,位于廣州市,是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本35680萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析,廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司共對(duì)外投資了5家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目18次,財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息12條,專利信息57條,此外企業(yè)還擁有行政許可66個(gè)。

(來(lái)源:金融界)

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